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新建PPT演示文稿_01
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Local VOC

洁净间环境与产品良率的重要保障

设计功能

吸附浓缩IC、光电产业生产过程中,黄光区内光阻涂布等制程工艺挥发的有机物,并输送至后序中央有机排气系统集中处理。避免VOCs在洁净间环境内积聚,影响产品良品率。适用于含PGMEA、PGME、IPA、环己酮等为主的有机挥发性气体。恒温恒湿洁净环境,处理效率≥98%。

 

工艺原理

集成过滤器、沸石转轮与电加热器。沸石吸附浓缩洁净间废气中VOCs成分,经电加热器加热脱附,恢复吸附能力,持续吸脱附。经沸石浓缩的VOCs进入下一步工序。